迪士尼彩乐园网址在哪 俄罗斯首台350nm光刻机，行将量产
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泽列诺格勒纳米时代中心 (ZNTC) 和 Planar已完成俄罗斯首台扶直 350nm 级工艺时代（0.35 微米）的光刻系统的开拓。白俄罗斯 Planar 公司协助完成了这一开拓。该机器已通过官方查抄，正在泽列诺格勒进行集成锤真金不怕火。尽管具有标记兴味，但该系统的经营已过程时了几十年，ZNTC 能否批量坐蓐尚不明晰。
新器具
ZNTC 光刻配置于一年前雅致推出，是一款基于固态激光器的 200 毫米光刻机，曝光场大小为 22 毫米 × 22 毫米（484 普通毫米）。ZNTC 和 Planar 并未披露联系该配置的要津时代细节，包括其使用的激光器波长或激光器可辐照的功率。不外，该公司表现，其使用节能的“固态”激光器，具有“更窄”的辐照范畴和更长的使用寿命。
固态光源的使用似乎是一个遒劲的细节，它不仅将该器具与超越的晶圆厂器具制造商经营的器具远离开来，而况还不错暗意该公司将来的筹画。
计议到 ZNTC 发布的声明颠倒迷糊（也许是为了守秘其发扬偏握协作伙伴的发扬），磋议 ASML 所谓的最着名的坐蓐器具以了解 ZNTC 的成等于有兴味的。
ASML 的光刻器具专为 200 毫米晶圆经营，用于从 350nm 到 130nm 的工艺时代，传统上罗致两种主要紫外线 (UV) 照明源中的一种，具体取决于信得过的光刻模子和工艺节点条件：汞弧灯、KrF（氟化氪）或 ArF（氟化氩）激光。
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关于350nm及以下的工艺时代，ASML的i-line步进机使用波长为365nm的汞弧灯（405nm和436nm较罕见）。关于250nm及更先进的节点，ASML使用波长为248nm的KrF（氟化氪）激光器。从130nm节点驱动，ASML的深紫外光刻系统已使用波长为193nm的ArF（氟化氩）激光器。
固态光源？
珍爱的读者会问：“半导体坐蓐中的固态激光器是什么？”固态激光器庸碌欺诈于半导体制造，但并非用于先进节点的主要光刻曝光。相背，它们用于辅助作用，举例晶圆查抄、颓势分析、标记和微加工工艺，迪士尼彩乐园3包括晶圆切割或修整组件。
在熟练节点（举例≥250nm）下，也不错使用使命波长为 365nm 傍边的固态激光器（三倍频 Nd:YAG 激光器）进行光刻，因为它们表示、高效且可靠。然而，如上所述，自 1990 年代末以来，ASML 一直使用基于气体的准分子激光器（248nm 的 KrF、193nm 的 ArF）或汞灯（365nm i-line）。
兴味的是，ZNTC 表现正在研发一种梗概达成 130nm 级工艺时代的光刻系统，但瞻望其开拓将在 2026 年的某个时辰完成。
为时已晚？
固然有些配置罗致了 350nm 级工艺时代，但以今天的圭臬来看，这种工艺时代已过程时了。20 世纪 90 年代中期，英特尔将这一节点用于其 Pentium MMX、Pentium Pro 和早期 Pentium II CPU，而 AMD 在 1997 年傍边使用交流时代坐蓐了其 K6 处理器。如今，先进的芯片罗致 5nm 级或更先进的工艺时代制造。
即使是俄罗斯芯片制造商，如 Angstrem 和 Mikron，也不坐蓐 350 nm 芯片。这两家公司的分辨率王人在 250 nm 到 90 nm 之间。因此，新扫描仪与俄罗斯主要代工场现存的坐蓐节点不匹配，将其径直交易磋议性收尾在国内坐蓐商的非要津层，这些坐蓐商将接续使用ASML 的 PAS 5500 系列光刻器具，这些器具是私运到俄罗斯的。
不外，ZNTC 的器具在某些特定范畴可能用途有限。一些汽车和电源处理 IC 罗致熟练工艺坐蓐。军事欺诈也不错从这种器具中受益，因为它们并不老是需要顶端性能。
不外，新机器的主要方针似乎是当作开拓更遒劲版块的基础。ZNTC 现在正在开拓一种针对 130nm 级工艺时代的新式号。瞻望 2026 年完成。该版块是俄罗斯政府制定的永远蹊径图的一部分，该蹊径图的方针是到 2025 年底达成 90nm 的国内坐蓐，到 2027 年达成 28nm 的国内坐蓐，到 2030 年达成 14nm 的国内坐蓐。ZNTC 偏握俄罗斯同业远远逾期于该筹画。
https://www.tomshardware.com/tech-industry/russia-completes-development-of-30-year-old-outdated-lithography-tool
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